封裝區(qū)

在半導(dǎo)體和集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中，濕度過(guò)大會(huì)對(duì)焊接工藝造成不利影響，使不良品增多?？涛g過(guò)程中，人們會(huì)使用一種叫做光刻膠的光敏高分子混合液覆蓋電路引線。具有吸濕性的光刻膠會(huì)吸收水分，致使微電路引線被錯(cuò)誤切斷或連通，導(dǎo)致電路故障。

晶圓制造區(qū)

晶圓加工過(guò)程中，旋涂機(jī)會(huì)將顯影劑噴射在晶圓表面，使晶圓表面的溶劑迅速蒸發(fā)，以達(dá)到為晶圓表面降溫的效果。同時(shí)，這也會(huì)導(dǎo)致空氣中的水蒸汽在晶圓表面凝結(jié)成水滴。晶圓表面濕度過(guò)大會(huì)導(dǎo)致顯影劑的化學(xué)特性發(fā)生改變。光刻膠同樣也會(huì)吸收水分，導(dǎo)致高分子聚合物成分膨脹。通過(guò)控制相對(duì)濕度，便可保證晶圓表面溫度不會(huì)低于周圍空氣露點(diǎn)溫度，從而防止故障和損壞。

光刻間

光刻間過(guò)于潮濕會(huì)導(dǎo)致二氧化硅吸收水分、光刻膠粘連不當(dāng)，造成晶圓在應(yīng)力作用下產(chǎn)生斷裂和表面缺陷。

加快真空泵老化

如果濕度水平過(guò)高，低溫泵等真空設(shè)備會(huì)因空氣中存在大量水蒸汽而出現(xiàn)轉(zhuǎn)速降低的情況。相對(duì)濕度降低后，批處理速度就可以得到提升，從而促進(jìn)生產(chǎn)效率的提升。

保護(hù)外延設(shè)備

水蒸汽或水分凝結(jié)在低溫的外延設(shè)備表面，會(huì)使設(shè)備部件受到腐蝕，導(dǎo)致運(yùn)行故障并降低處理速度。

除了可以實(shí)現(xiàn)理想的空氣條件，蒙特還可提供用于消除廢氣中揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）的 Zeol VOC 減排系列產(chǎn)品。半導(dǎo)體加工過(guò)程中排出的廢氣中含有 VOC。它對(duì)人體健康和環(huán)境有害，因此有關(guān)部門要求減少這種物質(zhì)的排放量。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備可首先將 VOC 進(jìn)行高效濃縮，從而大大降低減排成本。

對(duì)于每分每秒都在追求生產(chǎn)進(jìn)度的半導(dǎo)體工業(yè)來(lái)說(shuō)，轉(zhuǎn)輪濃縮系統(tǒng)的更大優(yōu)勢(shì)在于其具有高度可靠性，可在壓力波動(dòng)更低的情況下穩(wěn)定排放廢氣，大大節(jié)省運(yùn)營(yíng)成本。蒙特系統(tǒng)可將包含低濃度 VOC 的大量廢氣壓縮成低濃度的液體，再利用氧化劑進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的燃燒去除。系統(tǒng)壓降較小，有助于排氣扇節(jié)約能源成本。

蒙特沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備系統(tǒng)在 VOC 減排方面處于技術(shù)**地位。目前安裝該系統(tǒng)的包括一些世界知名企業(yè)，現(xiàn)已有200多套系統(tǒng)在為我們的客戶提供服務(wù)。

蒙特是研究 VOC 疏水沸石吸收技術(shù)的先驅(qū)者。蒙特 VOC 減排系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn) 95% 以上的 VOC 燃燒去除率（DRE），而其燃料費(fèi)用與僅使用氧化劑相比可降低 30-50%。

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